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掩膜版兆声清洗机,精密半导体划片机,全自动兆声晶圆清洗机-那诺中国有限公司 服务热线：17317363700产品到哪里，服务到哪里 ! 网站首页 关于我们 产品中心 新闻中心 技术文章 在线留言 联系我们 产品展示products 产品导航 飞行时间二次离子质谱仪 刻蚀系统 沉积系统 生长系统 清洗去胶系统 检测系统 量测系统 晶圆加工设备 核心组件 热真空试验系统 MiniSIMS ToFTOF-SIMS飞行时间二次离子质谱仪 了解详情 我要询价 SWC-4000兆声晶圆（掩模版）清洗机 了解详情 我要询价 NLD-4000（M）原子层沉积系统 了解详情 我要询价 NIE-4000IBE离子束刻蚀系统 了解详情 我要询价 NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机 了解详情 我要询价 NOC-4000进口光学镀膜机 了解详情 我要询价 NLD-4000（ICPM）PEALD系统 了解详情 我要询价 NSC-4000（M）磁控溅射系统 了解详情 我要询价 关于我们about us 上海耀他科技有限公司系那诺中国布局内地市场设立的核心运营主体，主要服务中国大陆的客户，专注于为高校、研究所、企业研发及FAB厂提供技术咨询、产品销售和售后技术支持。 主要产品包括薄膜工艺系统、表面分析检测系统、晶圆加工和量测系统以及其他微纳尺度工艺所涉及的相关系统。 在薄膜工艺系统领域，产品覆盖薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备等，典型的工艺系统涉及PVD物理气相沉积（磁控溅射、热蒸镀、电子束蒸镀）、CVD化学气相沉积（PECVD、ALD、PA-MOCVD、Parylene派瑞林真空镀膜设备）、干法刻蚀（RIE、ICP、DRIE、IBE、RIBE）、晶圆/掩模版清洗系统（单晶圆清洗、兆声清洗），应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。 在表面分析检测领域，产品涉及用于材料表面分析应用的飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）、基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪（MAIDI-ToF MS）。 在晶圆加工系统领域，产品主要为用于科研及小量产型的精密晶圆划片机（Wafer Scriber）。在晶圆量测系统领域，产品主要为晶圆厚度TTV、表面平整度Flatness、弯曲Bow、翘曲Warp、薄膜应力Stress、电阻率Resistance测量仪，以及用于晶圆接触角测量的接触角测量仪（Wafer Contact Angle Measuring System）。 我们以丰富的行业技术经验、逐步贴心的营销网络、专业的售后技术支持赢得了市场的广泛认可和支持，我们已售出的设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员，使得公司拥有一流的服务团队。作为薄膜工艺设备及表面分析仪器的提供商，我们的目标是提供高品质的服务并始终维持最高水平的集成度。 查看更多   新闻中心news center 晶圆应力测量仪的工作原理及功能体现 晶圆应力测量仪是半导体制造领域用于检测晶圆内部残余应力、工艺加工过程中应力变化的精密检测设备，是保障晶圆机械可靠性、提升生产良率的核心检测工具之一。属于半导体前道制程、后道封装环节的关键配套检测装备，可与晶圆形貌检测、膜厚测量等设备形成协同检测体系，覆盖晶圆全生产周期的质量管控需求。晶圆应力测量仪的主体结构：1.光学传感模块：集成专用光源、显微成像组件与信号接收单元，负责发射作用于晶圆的探测光束，同时捕获晶圆响应产生的特征信号，是应力解算的核心信息来源。2.高精度定位平台：采... 2026-09-24 NANO CHINA携手SAI参展第25届国际二次离子质谱大会（SIMS 25） NANOCHINA携手SAI参展第25届国际二次离子质谱大会（SIMS25）第25届国际二次离子质谱大会（SIMS25）将于2026年10月25-30日在广州举行。这是SIMS国际会议首-次在中国举办。英国SAI公司（ScientificAnalysisInstrumentsLtd.）确认参展，将展示MiniSIMS台式二次离子质谱仪在工业质控与研发中的应用成果。关于MiniSIMSMiniSIMS是SAI研发的台式二次离子质谱仪，曾获R&D100奖等国际奖项。它将传统大型超... 2026-09-15 全自动磁控溅射系统的全自动工作流程介绍 全自动磁控溅射系统是面向工业化批量薄膜制备需求研发的高精度装备，通过集成自动化传输、智能控制、多工艺适配等功能，实现薄膜沉积全流程的无人化操作，大幅提升镀膜效率与产品一致性。全自动磁控溅射系统的核心组成：1.真空腔体与自动传输模块采用高密封性腔体结构，内置自动传输工装，可适配不同尺寸、形状的基片，支持多片基片同时装载，实现批量镀膜的自动上下料，全程无需人工接触基片，避免人员操作带来的污染。2.多靶溅射源与适配供电模块配置多组可替换磁控靶阵列，可兼容金属、合金、陶瓷、化合物等多... 2026-08-27 英飞凌采购SAI 飞行时间二次离子质谱仪（MiniSIMS-ToF）助力芯片失效分析 全-球-领-先的半导体制造商英飞凌（InfineonTechnologies）采购英国ScientificAnalysisInstrumentsLtd.（SAI）公司研发的MiniSIMS-ToF飞行时间二次离子质谱仪。此次采购标志着这家全球半导体龙-头-企业对台式二次离子质谱仪在芯片封装失效分析领域应用价值的认可。深耕芯片封装失效分析，破解分层难题在集成电路封装工艺中，分层（delamination）是最常见的失效模式之一，尤其在经历热应力之后尤为突出。分层的根本原因通常来... 2026-08-20 全自动兆声晶圆清洗机采用高度模块化的集成设计 在半导体芯片制造的精密链条中，晶圆清洗是贯穿前道制程、先进封装全流程的核心工序，据行业统计，先进制程产线中清洗工序的占比超过三成，每一次光刻、刻蚀、薄膜沉积工序前后都需要进行高标准的清洗，以去除颗粒污染、有机物残留、金属离子沾污等杂质，任何微纳级别的污染都可能导致芯片电路失效，直接影响最终良率。传统清洗技术长期以RCA湿法清洗、常规超声波清洗为主，前者化学品用量大、工艺窗口窄，后者高频空化效应容易损伤晶圆表面的微纳图形、低介电常数介质层，难以适配先进逻辑制程、三维集成封装的高... 2026-05-27 半导体晶圆清洗设备的关键技术及市场应用介绍 随着半导体技术的快速发展，集成电路（IC）制造过程中对晶圆的清洗要求日益严格。晶圆清洗是确保芯片良品率和性能的重要工序之一，能够有效去除晶圆表面的颗粒、化学残留物及其他污染物。半导体晶圆清洗设备在这一过程中扮演着关键角色。半导体晶圆清洗设备的关键技术：1.高频超声波技术：通过提高超声波的频率，可以更有效地清洗微小颗粒，提高清洗的精度和均匀性。2.化学清洗剂的改进：新型环保型清洗剂的研发不仅能有效去除污染物，同时对环境的影响也较小，符合可持续发展的要求。3.自动化控制系统：现代... 2026-04-26 推荐产品recommend TOF-SIMS飞行时间二次离子质谱仪 了解详情 我要询价 SWC-4000兆声晶圆（掩模版）清洗机 了解详情 我要询价 NLD-4000（ICPM）PEALD系统 了解详情 我要询价 磁控溅射系统 了解详情 我要询价 ICPECVD等离子体化学气相沉积系统 了解详情 我要询价 NRE-4000（M）反应离子刻蚀 了解详情 我要询价 全自动电子束蒸发系统 了解详情 我要询价 全自动热蒸发系统 了解详情 我要询价 原子层沉积系统 了解详情 我要询价 MiniSIMS-ToF飞行时间二次离子质谱仪 了解详情 我要询价 高精度金刚石晶圆划片机 了解详情 我要询价 薄膜应力测试仪 了解详情 我要询价 友情链接/links 四参数组合探头 钛滤芯微孔过滤器 那诺中国 耐高温接近开关 液体过滤袋 ip吸顶音箱 潭兴分度盘 关于我们 公司介绍 荣誉资质 新闻资讯 新闻中心 技术文章 联系我们 联系我们 在线留言 产品中心 飞行时间二次离子质谱仪 刻蚀系统 沉积系统 生长系统 清洗去胶系统 检测系统 量测系统 晶圆加工设备 核心组件 热真空试验系统 021-62318025 扫码 加微信 版权所有©2026 那诺中国有限公司 All Rights Reserved   备案号：沪ICP备2026019213号-1   sitemap.xml   技术支持：化工仪器网   管理登陆 18916157635 服务热线021-62318025 在线咨询 184524207--> 扫码加微信 返回顶部 点击隐藏

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